校果网 科技成果 晕掺杂的双材料异质栅石墨烯条带场效应管

晕掺杂的双材料异质栅石墨烯条带场效应管

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本发明是一种晕掺杂的双材料异质栅石墨烯条带场效应管,该场效应管整体为上下对称结构,从沟道中间向外上、下依次为石墨烯纳米条带(1)、覆盖石墨烯纳米条带的绝缘层(2)、位于绝缘层外的双栅(3),分为顶栅(31)和底栅(32),绝缘层的长度与石墨烯纳米条带(1)相同;在石墨烯纳米条带(1)的左右两端分别设有源极(4)、漏极(5),与源极、漏极相连的石墨烯纳米条带部分分别设有长度相同的源区(41)、漏区(51),源区(41)、漏区(51)均采用相同参数的N型重掺杂;石墨烯纳米条带中间部分为沟道区(7),沟道区(7)在靠近源区(4)一侧,设有HALO掺杂区(6),采用P型重掺杂,剩余沟道部分不掺杂;该种结构能有效改善器件的亚阈值性能,提高器件的高频特性。
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